微波等離子在半導(dǎo)體去膠的應(yīng)用
半導(dǎo)體晶圓微波等離子除膠： 半導(dǎo)體加工工藝及其它薄膜加工工藝過程中，各類光刻膠的等離子去除，去除材料表面污染物，保證與其他材料的結(jié)合能力。
離子靜電消除裝置在半導(dǎo)體器件的應(yīng)用
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等離子清洗機應(yīng)用在COG工藝
半導(dǎo)體微波等離子處理機的優(yōu)勢及效果