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離子靜電消除裝置在集成電路芯片封裝的應(yīng)用
2021-06-25

芯片封裝技術(shù)

芯片封裝技術(shù)涵蓋的技術(shù)面極廣,屬于復(fù)雜的系統(tǒng)工程。涉及了物理、化學(xué)、化工、材料、機(jī)械、電氣與自動化等各門學(xué)科,也使用金屬金屬、陶瓷、玻璃、高分子等各種各樣的材料,因此芯片封裝是一門跨學(xué)科知識整合的科學(xué),整合了產(chǎn)品的電氣特性,熱傳導(dǎo)特性,可靠性、材料與工藝技術(shù)的應(yīng)用以及成本價格等因素,以達(dá)到最佳化目的的工程技術(shù)。

封裝工程·技術(shù)層次

第一層次:芯片層次的封裝:把集成電路芯片與封裝基板或引腳架之間的粘貼固定、電路連線與封裝保護(hù)的工藝,使之成為易于取放,并可與下一層次組裝進(jìn)行連接的模塊元件。

第二層次:將數(shù)個第一層次完成的封裝與其他電子元器件組成一個電路卡的工藝。

第三層次:將數(shù)個第二層次完成的電路卡組合成在一個主電路板上,使之成為一個部件或子系統(tǒng)的工藝。

第四層次:將數(shù)個子系統(tǒng)組裝成為一個完整電子產(chǎn)品的工藝過程。

實現(xiàn)功能

①傳遞功能 ②傳遞電路信號 ③提供散熱途徑 ④結(jié)構(gòu)保護(hù)與支持

前后段封裝工藝

等離子清洗

在混合集成電路制作工藝過程中,電路失效的主要原因之一是鍵合失效。據(jù)統(tǒng)計,混合集成電路約70%以上的產(chǎn)品失效均由鍵合失效引起,這是因為在生產(chǎn)制作過程中鍵合區(qū)不可避免地會受到各種污染,包括各種有機(jī)、無機(jī)殘留,如不加以處理而直接鍵合,將造成虛焊、脫焊、鍵合強(qiáng)度偏低等缺陷及鍵合應(yīng)力差異較大等問題,從而導(dǎo)致產(chǎn)品的長期可靠性沒有保證,而采用等離子清洗技術(shù)可有效清除鍵合區(qū)的污染物,提高鍵合區(qū)表面化學(xué)能及潤濕性,大大降低鍵合的失效率,從而提高產(chǎn)品的可靠性。

等離子清洗

植焊球后采用等離子清洗技術(shù)清潔芯片表面的粉塵和焊接劑,有效地改善表面的浸潤性。與傳統(tǒng)的濕法化學(xué)方法相比,等離子清洗機(jī)干式處理具有更好的控制性和一致性,且不會破壞基體。

清洗實驗

采用 SDC-200S 接觸角測量儀,對實驗材料進(jìn)行接觸角測量。在材料未進(jìn)行等離子清洗前,測量材料表面接觸角,測得的接觸角為 90°左右。材料表面滴水如圖 1 所示。

接觸角

實驗采用SPV-100真空等離子清洗機(jī),功率200W,真空度為10Pa,工藝氣體選擇氬氫混合氣,清洗時間為300s。產(chǎn)品經(jīng)過等離子清洗后,所測接觸角在20°以下。清洗后產(chǎn)品表面滴水如圖2所示。

等離子清洗

通過實驗清洗前后的測試數(shù)據(jù)結(jié)果可知,材料經(jīng)過等離子清洗后,產(chǎn)品表面的接觸角由未清洗前的 90°下降到清洗后的 20°以下,說明通過等離子清洗機(jī)的方式能夠有效去除產(chǎn)品表面的各種雜質(zhì)和污染物,從而提高材料引線鍵合的強(qiáng)度,有效去除后續(xù)芯片封裝時會出現(xiàn)的分層現(xiàn)象。

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