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等離子清洗機(jī)使用的氣體有哪些?
2023-09-26

等離子清洗機(jī)是一種常用于表面處理的設(shè)備,它利用等離子體與物質(zhì)表面的相互作用來清除污染物、氧化物等,從而提高表面的清潔度和反應(yīng)性。等離子清洗機(jī)常用的氣體包括氮?dú)狻鍤?、氫氣、氧氣、二氧化碳、四氟化碳等,選用的氣體不同,其效果也會(huì)有所不同。

等離子清洗機(jī)是一種常用于表面處理的設(shè)備,它利用等離子體與物質(zhì)表面的相互作用來清除污染物、氧化物等,從而提高表面的清潔度和反應(yīng)性。等離子清洗機(jī)常用的氣體包括氮?dú)?、氬氣、氫氣、氧氣、二氧化碳、四氟化碳等,選用的氣體不同,其效果也會(huì)有所不同。

一、氧氣(O?):等離子使用氧氣時(shí),可以發(fā)生氧化反應(yīng),使表面活化,從而去除有機(jī)污染物和聚合物的表面活化。

二、氫氣(H?):氫氣具有還原性,可以對(duì)金屬表面的氧化層進(jìn)行處理,適用于精密制造領(lǐng)域。

三、氬氣(Ar):氬氣屬于惰性氣體,等離子使用氬氣時(shí),能夠?qū)Σ牧媳砻姘l(fā)生物理反應(yīng),清潔和粗化表面,且不會(huì)對(duì)基材產(chǎn)生氧化反應(yīng),適用于精密金屬元件處理。

四:四氟化碳(CF?):四氟化碳在電離之后的等離子體含有氫氟酸,是一種能夠用于刻蝕和有機(jī)物去除的腐蝕性氣體,能夠?qū)€路板的微孔進(jìn)行除膠處理或者一些精密材料的納米級(jí)刻蝕。

圖二.jpg

等離子清洗機(jī)的氣體選擇取決于特定的需求和材料類型,不同的材料選擇的氣體是不一樣的,根據(jù)多次測(cè)試結(jié)合自身情況選擇合適的氣體。

圖三.jpg


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